JED-2300/2300F系列掃描電鏡能譜儀，可進(jìn)行非導電元素微區分析。使用JEOL*的軟件“ Analysis Station”，通過(guò)與SEM的馬達驅動(dòng)樣品臺聯(lián)動(dòng)使用，可以進(jìn)行大范圍的觀(guān)察和分析，可實(shí)現分析結果和分析位置自動(dòng)對應。掃描電鏡能譜儀通過(guò)檢測被電子束激發(fā)出的樣品的特征X射線(xiàn)，確定樣品含有的元素及成分比，可以進(jìn)行微區的點(diǎn)分析、線(xiàn)分析及面分析。

• 適用JSM-IT200/IT500 等

• 可以在SEM圖像上分析位置，開(kāi)始EDS分析。

• VID

         將采集的X射線(xiàn)譜圖和Visual PeakID（VID）合成的譜圖進(jìn)行比較，定性結果可以通過(guò)視覺(jué)、 數值判斷。

• Play Back (回放) 功能
  用JEOL制造的EDS采集的元素面分布圖，不僅保存了每一幀中各個(gè)像素點(diǎn)的譜圖，還對每一幀中電子束形成的圖像進(jìn)行了存儲。利用Play back功能，可以進(jìn)行多角度的分析如觀(guān)測譜圖等隨時(shí)間的變化等。測試后數據能夠回放，可以觀(guān)察到樣品按時(shí)間順序發(fā)生的變化，這是至今為止無(wú)法實(shí)現的。此外，利用Play Back功能還可以截取任意的畫(huà)面。

• Smile Station™ 2

• Smile Station™2功能通過(guò)在多個(gè)視野上自動(dòng)進(jìn)行分析，生成SEM和元素面分布圖的無(wú)縫蒙太奇圖像，也可以在取得的視野上進(jìn)行連續的元素面分布和點(diǎn)分析等。

• Dry SD 檢測器

• Dry SD 檢測器（SDD檢測器）與傳統的EDS檢測器不同，不需要液氮制冷。使用快速簡(jiǎn)單，同時(shí)實(shí)現了高分辨率和高計數率處理。